シウム溶解時におけるカバーガス、半導 体などの製造工程や電気絶縁ガスなどに使用さ れているものです。 三ふっ化窒素 （NF3） 17,200 …
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2021年6月3日
岐阜市地球温暖化対策実行計画 （PDF 5.3MB） pdf
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シウム溶解時におけるカバーガ ス、半導体などの製造工程や電気絶縁ガ スなどに使用されます。 三ふっ化窒素 （NF3） 17,200 半導体の…
